Brooks Instrument entwickelt, fertigt und vertreibt Massendurchflussregler, Massendurchflussmesser, Druckmessgeräte, Vakuummessgeräte sowie Verdampferprodukte für die kontrollierte Überführung von Flüssigmedien in reine Dämpfe. Die wichtigsten Anwendungen sind Wasserverdampfung, Gasphasenabscheidung (CVD), Ausfüllung dünner Schichten (Oberflächeneigenschaften), z.B. in Prozessen der Halbleiterfertigung.
Die Firma KOBOLD Messring GmbH ist eine der führenden Unternehmen im Bereich der industriellen Mess- und Kontrollgeräte, zur Erfassung und Überwachung physikalischer Größen wie Durchfluss, Druck, Füllstand und Temperatur.
Mess- und Regelgeräte für Vakuum, Überdruck, Differenzdruck und Gasflüsse; Gasmisch- und Gasversorgungssysteme; Kalibriersysteme für Druckmesssysteme und Gasflußregler; Restgasanalyse, Massenspektrometer; Vakuumventile; Sensoren für Druck, Differenzdruck, Durchfluss, Strömungsgeschwindigkeit; Druck- und Differenzdruckschalter, Zugwächter; Messeinrichtungen für Druck, Differenzdruck, Durchfluss, Strömungsgeschwindigkeit, Durchsatz und Menge; Massenspektrometer; Dosier-Einrichtungen für Gase; Kalibrier- und Eicheinrichtungen (für Betriebseinsatz); Prüfeinrichtungen für Manometer, Druckmessgeräte und Durchflussmesser; eichnormale, vergleichsnormale, Kalibriereinrichtungen
