Maschinen und Anlagen für das mechanische Handling, die Reinigung und für diverse chemische und physikalische Prozesse bei der Fertigung von Wafern, Photovoltaikzellen, Photovoltaikmodulen, Leiterplatten sowie von elektronischen Anzeigen
Herstellungsmaschinen, -anlagen und -linien für kristalline und Dünnschicht-Photovoltaikmodule, insbes. für Waferreinigung, Ätz- und Beschichtungsprozesse, CD-/DVD-Herstellungsmaschinen
