Brooks Instrument entwickelt, fertigt und vertreibt Massendurchflussregler, Massendurchflussmesser, Druckmessgeräte, Vakuummessgeräte sowie Verdampferprodukte für die kontrollierte Überführung von Flüssigmedien in reine Dämpfe. Die wichtigsten Anwendungen sind Wasserverdampfung, Gasphasenabscheidung (CVD), Ausfüllung dünner Schichten (Oberflächeneigenschaften), z.B. in Prozessen der Halbleiterfertigung.
Anlagen für Gießharz-Isolierung, für Öl-Papier-Isolierung, für Composite Vakuuminfusion, für Vakuum-Druckimprägnierung - VPI Formen und Schließmaschinen, Vakuum-Pumpsätze sowie Software und Automation
Plasma-, Oberflächen- und Vakuum-Beschichtungstechnologie für die Anwendung in den Industriebereichen Biotechnologie, Medizintechnik, Pharmazie, Lebensmittel, Werkzeug-, Maschinen- und Fahrzeugbau, Präzisions- und Feinmechanik, Textiltechnik, Mikromechanik und -systemtechnik
Entwicklung und Fertigung von Vakuumbeschichtungsanlagen für die Aufbringung von mikro- bis nanometerdünnen Funktionsschichten auf Materialien wie Glas, Metallband oder Folie als Grundlage für Produkte wie Solarmodule, Architekturglas oder Smartphone-Displays
